Chemical Mechanical Planarization

Abrasifs pour planarisation mécanique chimique au sol de silice

La planarisation mécanique chimique (CMP) enlève de la matière de la surface d’une tranche afin d’obtenir une base de haute qualité pour la couche suivante d’un circuit ou pour effectuer un polissage final. Nos abrasifs de CMP de pointe au sol de silice sont conçus pour offrir une sélectivité ciblée, de faibles taux de défectivité et de rayure, une vitesse d’élimination élevée et une grande stabilité dans la formulation des pâtes. 

Nous proposons une gamme d’abrasifs pour CMP à la silice colloïdale afin de couvrir différents besoins de pâtes pour divers types de puces et couches. Les particules abrasives disposent d'une distribution granulométrique, d'une dureté, d'une morphologie et d'un profil de surface qui affectent directement les paramètres critiques tels que la vitesse d'élimination et les défauts de tranches.

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Produits de silice colloïdale haute pureté pour CMP

  • Taille : technique
  • Solide : 30 %
  • pH : 8,9 - 9,5
  • Stabilisé au potassium

  • Taille (nm) : 35
  • Surface m2/g : 85
  • % de solides : 30 
  • pH : 9 - 10 
  • Stabilisation : K+

  • Taille (nm) : technique 
  • Surface m2/g : 85 
  • % de solides : 50 
  • pH : 9 - 10 
  • Stabilisation : K+

  • Taille (nm) : technique 
  • Surface m2/g : 50 
  • % de solides : 50 
  • pH : 8,5

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Développement d'abrasifs pour CMP personnalisés

Nos équipes d'experts en RD&E dédiés proposent le développement de produits personnalisés au sol de silice afin de fournir des solutions adaptées sur mesure aux besoins et aux processus spécifiques de l’entreprise. Nous concevons des produits couvrant les critères suivants :

  • Taille des particules
  • Distribution granulométrique
  • Cation stabilisé
  • Concentration
  • pH
  • Type d’emballage
  • Température
  • Classification
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Qualité et uniformité des produits à la silice colloïdale

Nalco Water met l’accent sur la qualité, l'uniformité et la fiabilité de toutes ses solutions à la silice colloïdale. Pour garantir que notre sol de silice fonctionne correctement dans les applications de CMP, nous nous appuyons sur les normes IPC pour guider nos tests de contrôle de la qualité.

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Nalco Water est un leader en matière de silice colloïdale

  • Premier procédé breveté de fabrication de silice colloïdale en 1941
  • Un des plus grands fabricants de silice colloïdale au monde
  • Des équipes de RD&E novatrices pour le développement de produits personnalisés
  • Des produits conçus pour l’efficacité, la qualité et le contrôle de la fabrication
  • Valeur ajoutée importante grâce à une conception innovante des particules et une assistance de qualité

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Références

  1. Les produits ont été fabriqués à l’aide d’une approche LMSII technique pour éliminer les métaux ; [Cu] et [Ni] moins de 20 ppb, Disponibilité selon le volume↵